Center for Hybrid Nanostructures
Universität Hamburg
UHH > FB Physik > Institut für Nanostruktur- und Festkörperphysik > Grenz- & Oberflächenphysik

Herstellung ultra-dünner (Metall)-Filme

Wir stellen sämtliche Schichtsysteme unserer Proben selber her. Hierfür stehen uns im wesentlichen drei Anlagen zur Verfügung, welche ultra-dünne Metallfilme verschiedenster Elemente auf unterschiedliche Art erzeugen können. Durch dieses In-house know how haben wir volle Kontrolle über sämtliche Prozessschritte und können die benötigten Materialeigenschaften unserer Proben mit hoher Flexibilität einstellen.

Thermisches Verdampfen mittels Elektronenstrahl-Heizen

Fliegenbedampfer

Sputteranlage